物理性質(zhì):具有銀灰色金屬光澤,條狀,梯形截面,性脆,易斷裂,硬度 5.0 左右,微導(dǎo)電,屬于典型的半導(dǎo)體。其密度為 5.35g/mL,熔點(diǎn)為 937℃,沸點(diǎn)為 2830℃,不溶于鹽酸、硝酸和常堿,但溶于 HF、王水和熱的 NaOH 溶液中。
后處理
冷卻與脫模:區(qū)熔結(jié)束后,以 2~5℃/min 速率分段降溫,500℃以下慢速冷卻,防止內(nèi)應(yīng)力開(kāi)裂,冷卻后取出鍺錠。
切頭切尾:切除含高濃度雜質(zhì)的尾料與籽晶部分,保留中間高純段。
檢測(cè)分級(jí):通過(guò)電阻率測(cè)試、ICP-MS 分析雜質(zhì)含量,按純度分級(jí)(如 6N、7N、8N),合格產(chǎn)品包裝入庫(kù),不合格品返回原料重熔。
退火處理(可選):對(duì)高純鍺錠進(jìn)行 400~500℃真空退火,消除內(nèi)應(yīng)力,提升晶體完整性,滿足半導(dǎo)體單晶制備需求。
鍺錠的核心分類與差異?
除了之前重點(diǎn)介紹的區(qū)熔鍺錠,工業(yè)中常見(jiàn)的鍺錠還包括以下類型,核心差異集中在提純工藝、純度與用途:?
?
類型?
提純方法?
純度范圍?
關(guān)鍵特點(diǎn)?
主要應(yīng)用?
區(qū)熔鍺錠(FZ-Ge)?
水平 / 垂直區(qū)熔法?
6N~9N(99.9999%~99.9999999%)?
雜質(zhì)偏析徹底,晶體完整性高,半導(dǎo)體特性優(yōu)異?
鍺單晶、紅外光學(xué)材料、半導(dǎo)體器件?
真空熔煉鍺錠?
真空高溫熔煉?
4N~5N(99.99%~99.999%)?
生產(chǎn)效率高,成本較低,純度適中?
鍺合金、低檔光學(xué)部件、含鍺化合物原料?
電解精煉鍺錠?
電化學(xué)還原 + 精煉?
5N~6N?
雜質(zhì)去除效率穩(wěn)定,適合批量生產(chǎn)?
光纖用鍺摻雜劑、靶材中間體?
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鍺錠的關(guān)鍵質(zhì)量指標(biāo)?
純度等級(jí):核心指標(biāo),以 “N” 表示(1N=99%),區(qū)熔鍺錠主流為 6N~8N,高端半導(dǎo)體應(yīng)用需 9N 級(jí)超高純鍺錠,雜質(zhì)總量≤0.1ppm。?
晶體結(jié)構(gòu):區(qū)熔鍺錠需為定向結(jié)晶的多晶或準(zhǔn)單晶,晶粒尺寸均勻(通?!?mm),無(wú)明顯裂紋、縮孔、夾雜等缺陷。?
電學(xué)性能:電阻率(25℃時(shí))需符合標(biāo)準(zhǔn),6N 鍺錠電阻率通常為 47~53Ω?cm,純度越高電阻率越穩(wěn)定。?
化學(xué)雜質(zhì):重點(diǎn)控制 O、C、Fe、Cu、Ni、Si 等雜質(zhì),其中 O 含量需≤5ppm(避免影響晶體導(dǎo)電性),重金屬雜質(zhì)≤0.1ppm。?
外觀與尺寸:銀灰色金屬光澤,表面無(wú)氧化斑、油污,截面呈梯形或矩形,長(zhǎng)度通常為 300~600mm,直徑 / 寬度根據(jù)應(yīng)用定制。

