晶體結(jié)構(gòu):區(qū)熔鍺錠需為定向結(jié)晶的多晶或準(zhǔn)單晶,晶粒尺寸均勻(通?!?mm),無(wú)明顯裂紋、縮孔、夾雜等缺陷。
化學(xué)雜質(zhì):重點(diǎn)控制 O、C、Fe、Cu、Ni、Si 等雜質(zhì),其中 O 含量需≤5ppm(避免影響晶體導(dǎo)電性),重金屬雜質(zhì)≤0.1ppm。
技術(shù)趨勢(shì):未來(lái)將聚焦于 “提升純度 + 降低成本”,如開(kāi)發(fā)多場(chǎng)耦合區(qū)熔技術(shù)(電磁 + 溫度梯度)、優(yōu)化熔區(qū)參數(shù)控制算法,實(shí)現(xiàn) 9N 級(jí)鍺錠的規(guī)?;a(chǎn);同時(shí),鍺資源的回收利用(如從廢舊光纖、半導(dǎo)體器件中回收鍺)將成為重要發(fā)展方向,緩解資源短缺壓力。
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