東莞路登電子科技:晶圓微塵攝像頭模組芯片清洗治具的革新解決方案
在半導體制造與精密電子領域,晶圓微塵攝像頭模組芯片的清洗工藝直接影響著產(chǎn)品良率與性能。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)及AI技術的飛速發(fā)展,攝像頭模組芯片的需求激增,對清洗精度與效率的要求也達到了一定的高度。東莞路登電子科技憑借多年技術沉淀,推出全新晶圓微塵攝像頭模組芯片清洗治具,以創(chuàng)新設計解決行業(yè)痛點,為高端制造注入新動能。

技術突破:清洗,守護芯片良率
傳統(tǒng)清洗工藝難以徹底去除晶圓表面的納米級微塵,這些微小顆粒在后續(xù)封裝或光刻環(huán)節(jié)可能引發(fā)短路、漏電等問題,導致良率大幅下降。路登科技的清洗治具采用物理-化學協(xié)同清洗技術,通過高頻兆聲波與定制化化學溶液的結(jié)合,實現(xiàn)污染物剝離。 其核心優(yōu)勢包括:
納米級精度:針對攝像頭模組芯片的精細結(jié)構(gòu)(如感光元件、互連線),治具可控制清洗力度,避免損傷敏感層。
全表面覆蓋:旋轉(zhuǎn)噴淋臂與多角度流體沖刷設計,確保晶圓邊緣及溝槽區(qū)域無死角清潔。
低損傷處理:采用非接觸式清洗方案,減少機械摩擦對芯片表面的影響,尤其適用于低k介質(zhì)層等脆弱結(jié)構(gòu)。
場景賦能:多領域應用,提升生產(chǎn)效能
該治具廣泛適配于半導體前道制程、攝像頭模組封裝及CMP后清洗等環(huán)節(jié),顯著提升生產(chǎn)效率:
半導體制造:在光刻、刻蝕等關鍵工序前,徹底清除光刻膠殘留與金屬顆粒,確保后續(xù)工藝的套刻精度。
攝像頭模組生產(chǎn):針對手機、車載攝像頭的高像素需求,治具可有效去除有機污染物,提升成像清晰度與穩(wěn)定性。
CMP后處理:在化學機械拋光后,快速清除拋光液殘留,修復表面粗糙度,為多層布線奠定基礎。

客戶價值:降本增效,驅(qū)動產(chǎn)業(yè)升級
路登科技的清洗治具已通過多家頭部企業(yè)驗證,其核心價值體現(xiàn)在:
良率提升:客戶反饋顯示,使用后產(chǎn)品良率平均提高15%-20%,大幅降低返工成本。
工藝簡化:集成化設計減少設備占用空間,單次清洗時間縮短30%,助力產(chǎn)線提速。
國產(chǎn)替代:針對高端制程需求,治具性能對標國際競品,價格更具競爭力,助力企業(yè)突破技術封鎖。
未來展望:攜手創(chuàng)新,共筑智造未來
東莞路登電子科技始終以客戶需求為導向,持續(xù)迭代清洗治具技術。未來,我們將深化與半導體、消費電子等領域的合作,推出適配3nm及以下制程的解決方案,為中國高端制造保駕護航。
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