前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
表面處理:根據(jù)應(yīng)用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過干膜掩膜保護(hù),對(duì)關(guān)鍵區(qū)域進(jìn)行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機(jī)防氧化劑,以延長(zhǎng)其儲(chǔ)存壽命。
信號(hào)性能相關(guān)故障
阻抗超標(biāo):高頻信號(hào)傳輸時(shí)阻抗波動(dòng)超過 ±3%,導(dǎo)致信號(hào)反射、損耗增大。除了鍍層厚度不均,還可能是鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)不佳(如銅鍍層晶粒粗大),或線路側(cè)蝕嚴(yán)重破壞阻抗設(shè)計(jì)。
高頻損耗異常:插入損耗、回波損耗不達(dá)標(biāo),常見于脈沖電鍍工藝參數(shù)不當(dāng)。比如脈沖頻率、占空比設(shè)置不合理,導(dǎo)致鍍層趨膚效應(yīng)增強(qiáng),信號(hào)衰減加劇。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
