關鍵加工環(huán)節(jié)
前處理:包括除油、微蝕、活化,確保載板表面潔凈無雜質。
電鍍沉積:通過電解或化學沉積方式,讓金屬離子均勻附著在載板表面。
后處理:涵蓋清洗、烘干、檢測,保障鍍層質量達標。
核心工藝要求
鍍層精度:厚度公差需控制在 ±0.1μm 內,鍍層均勻性誤差不超過 5%。
適配細線路需求:針對 IC 載板的微線路(線寬 / 線距<20μm),需避免鍍層橋連、空洞。
材質兼容性強:需匹配 ABF 膜、BT 樹脂、陶瓷等不同載板基材,不損傷基材性能。
主流鍍層類型及用途
銅鍍層:核心導電層,用于線路互聯(lián),厚度通常 1-5μm,要求高導電性和附著力。
鎳鍍層:中間阻擋層,防止銅擴散,厚度 0.5-2μm,提升后續(xù)鍍層結合力。
金鍍層:表面焊接 / 鍵合層,用于芯片鍵合或引腳焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、軟金(易鍵合)。
錫鍍層:低成本焊接層,替代部分金鍍層,厚度 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對載板進行激光鉆微導通孔、去鉆污等操作,然后用化學鍍銅或碳直接金屬化工藝等進行初級金屬化,形成一層薄的導電晶種層,為后續(xù)電鍍做準備。
圖形電鍍:在經過前處理的載板上,通過光刻技術形成圖形,然后進行電鍍,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質,然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產品質量符合要求。
