圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無(wú)針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡(jiǎn)易附著力檢測(cè),避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學(xué)脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
2018年在深圳建成孔金屬化和電鍍生產(chǎn)線代加工廠,工廠位于廣東深圳寶安區(qū)沙井大王山益益明工業(yè)區(qū)C棟一樓,主要生產(chǎn)以軟板、RF4、高頻板、mini、軟板多層為主。生產(chǎn)線有三條巨龍水平線、兩條佳凡電鍍線月產(chǎn)能35000平米。
深圳沙井載板電鍍加工,深圳沙井高頻高速線路板電鍍加工
