前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
電鍍液成分:酸性鍍銅液中,硫酸銅、硫酸的濃度以及添加劑的種類和含量,直接影響鍍層的結(jié)晶質(zhì)量和表面平整度。
電流密度:過(guò)高的電流密度會(huì)導(dǎo)致鍍層粗糙、內(nèi)應(yīng)力增大;過(guò)低則會(huì)影響沉積速度和鍍層均勻性。一般脈沖電鍍的電流密度在 1-5A/dm2 之間。
溫度和攪拌:鍍液溫度和攪拌速度會(huì)影響離子擴(kuò)散速度和鍍層的均勻性。如化學(xué)沉銀時(shí),需通過(guò)恒溫?cái)嚢?,確保銀層均勻性達(dá) 90% 以上。
表面處理:提升可靠性與兼容性
非關(guān)鍵區(qū)域可做沉銀、OSP 或沉錫處理,提升可焊性與抗氧化能力。
關(guān)鍵高頻區(qū)域需保持金 / 銀鍍層潔凈,可涂覆超薄有機(jī)防氧化劑,避免氧化導(dǎo)致信號(hào)損耗增大。
處理后需控制表面粗糙度 Ra<0.5μm,減少高頻信號(hào)散射。
