IC 載板電鍍加工是半導體封裝領域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產生空洞等缺陷。
核心適用場景
消費電子載板:手機、電腦的 PCB 主板、柔性載板,需輕量化、高導電鍍層。
工業(yè)電子載板:工控設備、汽車電子的耐高溫載板,側重鍍層穩(wěn)定性和抗老化性。
特種電子載板:醫(yī)療設備、航空航天用載板,要求鍍層低雜質、高可靠性。
通訊載板電鍍加工關鍵技術
電鍍液配方優(yōu)化:為了實現(xiàn)高精度的電鍍效果,需要針對不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實現(xiàn)超細線路的均勻電鍍,避免出現(xiàn)鍍層橋連、空洞等缺陷。
設備與工藝參數調控:先進的電鍍設備能夠控制電場、電流密度、溫度、時間等參數,確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設置脈沖參數,可以改善鍍層的結晶結構,提高鍍層的性能。
