前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡易附著力檢測,避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯位。
顯影后進行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護。
后處理與檢測:保障產(chǎn)品合格
進行多輪清洗 + 烘干,去除表面殘留藥劑、水分,避免鍍層變色或基材受潮。
開展檢測:包括鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(劃格測試)、阻抗值(網(wǎng)絡(luò)分析儀檢測)、高頻損耗(插入 / 回波損耗測試)。
最終進行外觀檢查,排除針孔、橋連、劃痕等缺陷,確保產(chǎn)品符合高頻高速傳輸要求。
