IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實(shí)現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
主流鍍層類型及用途
銅鍍層:核心導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),厚度通常 1-5μm,要求高導(dǎo)電性和附著力。
鎳鍍層:中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,厚度 0.5-2μm,提升后續(xù)鍍層結(jié)合力。
金鍍層:表面焊接 / 鍵合層,用于芯片鍵合或引腳焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、軟金(易鍵合)。
錫鍍層:低成本焊接層,替代部分金鍍層,厚度 1-3μm,要求無(wú)針孔、可焊性好。
關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機(jī)添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過(guò)控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實(shí)現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問(wèn)題,同時(shí)保證鍍層的均勻性和表面質(zhì)量。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對(duì)載板進(jìn)行激光鉆微導(dǎo)通孔、去鉆污等操作,然后用化學(xué)鍍銅或碳直接金屬化工藝等進(jìn)行初級(jí)金屬化,形成一層薄的導(dǎo)電晶種層,為后續(xù)電鍍做準(zhǔn)備。
圖形電鍍:在經(jīng)過(guò)前處理的載板上,通過(guò)光刻技術(shù)形成圖形,然后進(jìn)行電鍍,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實(shí)現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對(duì)鍍層進(jìn)行檢測(cè),如檢測(cè)鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
