信號(hào)性能相關(guān)故障
阻抗超標(biāo):高頻信號(hào)傳輸時(shí)阻抗波動(dòng)超過(guò) ±3%,導(dǎo)致信號(hào)反射、損耗增大。除了鍍層厚度不均,還可能是鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)不佳(如銅鍍層晶粒粗大),或線路側(cè)蝕嚴(yán)重破壞阻抗設(shè)計(jì)。
高頻損耗異常:插入損耗、回波損耗不達(dá)標(biāo),常見(jiàn)于脈沖電鍍工藝參數(shù)不當(dāng)。比如脈沖頻率、占空比設(shè)置不合理,導(dǎo)致鍍層趨膚效應(yīng)增強(qiáng),信號(hào)衰減加劇。
工藝適配相關(guān)故障
線路橋連 / 短路:超細(xì)線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時(shí)金屬離子過(guò)度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內(nèi)出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導(dǎo)通和散熱。成因是鍍液流動(dòng)性不足、電流密度未針對(duì)深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開裂,多因電鍍溫度過(guò)高(超過(guò)基材耐熱極限),或前處理化學(xué)藥劑腐蝕基材表面。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學(xué)脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
