前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
表面處理:根據(jù)應(yīng)用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過干膜掩膜保護(hù),對關(guān)鍵區(qū)域進(jìn)行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機(jī)防氧化劑,以延長其儲存壽命。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學(xué)脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
后處理與檢測:保障產(chǎn)品合格
進(jìn)行多輪清洗 + 烘干,去除表面殘留藥劑、水分,避免鍍層變色或基材受潮。
開展檢測:包括鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(劃格測試)、阻抗值(網(wǎng)絡(luò)分析儀檢測)、高頻損耗(插入 / 回波損耗測試)。
最終進(jìn)行外觀檢查,排除針孔、橋連、劃痕等缺陷,確保產(chǎn)品符合高頻高速傳輸要求。
