工藝流程
前處理:包括對載板進(jìn)行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進(jìn)行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進(jìn)行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準(zhǔn)備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進(jìn)行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質(zhì)量和性能。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進(jìn)行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
電子載板電鍍加工關(guān)鍵選型與成本要點(diǎn)
鍍層選型:常規(guī)場景用銅 + 錫鍍層(低成本),高端場景選鎳 + 金鍍層(高可靠性),特種場景用鈀、銠等稀有金屬鍍層。
成本控制:批量加工可降低單位材料損耗,簡化鍍層結(jié)構(gòu)(如減少貴金屬厚度),優(yōu)化前處理工藝以提升良率。
質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):需符合 IPC、JIS 等行業(yè)規(guī)范,重點(diǎn)檢測鍍層厚度(XRF)、附著力(劃格測試)、耐環(huán)境性(高低溫、鹽霧測試)。
通訊載板電鍍加工常見鍍層類型及作用
銅鍍層:是通訊載板中最主要的導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),其厚度通常根據(jù)具體需求在 1-20μm 之間,要求具有高導(dǎo)電性、良好的附著力和抗電遷移性能,以保證信號的傳輸和載板的長期可靠性。
鎳鍍層:常作為中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,同時(shí)提高后續(xù)鍍層的結(jié)合力,厚度一般在 0.5-2μm。
金鍍層:主要用于表面焊接 / 鍵合層,如芯片鍵合或引腳焊接,具有良好的導(dǎo)電性、抗腐蝕性和可焊性,厚度通常在 0.1-1μm,可分為硬金和軟金,硬金耐磨性好,軟金易鍵合。
錫鍍層:是一種低成本的焊接層,可替代部分金鍍層,用于載板的表面焊接,厚度一般在 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
半加成工藝載板電鍍是一種用于制造高精度電子載板的工藝方法,在半導(dǎo)體封裝等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
工藝原理:半加成法(SAP)的核心是通過 “逐步沉積銅層” 形成電路。先在絕緣基板表面制備超薄導(dǎo)電層,即種子層,再通過光刻技術(shù)定義線路圖形,對圖形區(qū)域電鍍加厚銅層,去除多余部分后形成完整電路。改良型半加成法(mSAP)則是在基板上預(yù)先貼合 3-9μm 的超薄低輪廓銅箔作為基銅,再進(jìn)行后續(xù)操作。
工藝流程
基材準(zhǔn)備:使用表面平整的超薄銅箔基板或無銅基材,如 1-2μm 厚銅層的基板或 ABF 薄膜等。
化學(xué)沉銅:通過化學(xué)沉積在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄銅層,作為導(dǎo)電基底,即種子層。
圖形電鍍銅:對露出的種子層區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,使線路達(dá)到設(shè)計(jì)厚度,通常至 5-15μm,形成導(dǎo)線主體。
去膠與蝕刻:移除光刻膠或干膜,然后蝕刻掉未被電鍍覆蓋的薄種子層銅,由于種子層厚度極薄,蝕刻側(cè)蝕極小。
表面處理:進(jìn)行沉金、OSP、沉錫等表面處理,以滿足后續(xù)封裝和焊接等工藝的要求。
