低信號損耗:利用銀等低電阻率金屬作為鍍層材料,在高頻趨膚效應下,降低信號傳輸損耗。如沉銀工藝在 10GHz 信號下,插入損耗僅為 0.18dB / 厘米。
表面平整度高:為減少信號散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導等結構中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra圖形電鍍:加厚功能鍍層
優(yōu)先采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,在線路裸露區(qū)域沉積銅層(厚度 5-15μm),保證鍍層結晶細密、低電阻率。
關鍵區(qū)域(如射頻接口、連接器)需進行選擇性電鍍,額外沉積金、銀等低損耗鍍層,厚度根據(jù)需求控制在 0.1-3μm。
電鍍過程中嚴格控制電流密度(1-5A/dm2)、鍍液溫度(20-30℃)及攪拌速度,確保鍍層均勻性與平整度。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
