表面平整度高:為減少信號散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導等結(jié)構(gòu)中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
表面處理:根據(jù)應用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過干膜掩膜保護,對關(guān)鍵區(qū)域進行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機防氧化劑,以延長其儲存壽命。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導致鍍層錯位。
顯影后進行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護。
