前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
常見(jiàn)鍍層材料及應(yīng)用
金:具有良好的導(dǎo)電性、耐腐蝕性和耐磨性,常用于高頻連接器、射頻接口等關(guān)鍵區(qū)域,鍍層厚度一般為 1-3μm。
銀:電阻率低,高頻損耗小,適用于普通信號(hào)焊盤(pán)和線(xiàn)路,鍍層厚度約 0.1-0.2μm,但需注意防氧化處理。
銅:作為基礎(chǔ)導(dǎo)電層,廣泛應(yīng)用于線(xiàn)路電鍍,厚度通常在 5-20μm,通過(guò)優(yōu)化電鍍工藝,可提高其信號(hào)傳輸性能。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線(xiàn)路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線(xiàn)路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線(xiàn)寬 / 線(xiàn)距偏差≤±1μm,避免開(kāi)窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線(xiàn)路區(qū)域完全裸露、非線(xiàn)路區(qū)域被保護(hù)。
圖形電鍍:加厚功能鍍層
優(yōu)先采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,在線(xiàn)路裸露區(qū)域沉積銅層(厚度 5-15μm),保證鍍層結(jié)晶細(xì)密、低電阻率。
關(guān)鍵區(qū)域(如射頻接口、連接器)需進(jìn)行選擇性電鍍,額外沉積金、銀等低損耗鍍層,厚度根據(jù)需求控制在 0.1-3μm。
電鍍過(guò)程中嚴(yán)格控制電流密度(1-5A/dm2)、鍍液溫度(20-30℃)及攪拌速度,確保鍍層均勻性與平整度。
