無(wú)塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來(lái)搭配，才能保持良好的潔凈度；無(wú)塵室運(yùn)行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無(wú)塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專業(yè)人士來(lái)執(zhí)行。

無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。

經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵室的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

工作人員會(huì)帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會(huì)影響無(wú)塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí)，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無(wú)塵室內(nèi)穿著潔凈衣服，用無(wú)塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過(guò)的不銹鋼板，防止破壞地板。