所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

除了防止微塵進入，無塵室也要設置凈化空調系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設備等各類設備設施，來確保無塵室內的空氣潔凈度級別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。

無塵車間是指在封閉空間范圍內將有害空氣、、微粒子等污染物排出，并將室內溫度、室內壓力、氣流速度等控制在某一范圍內。無塵車間的潔凈程度高，空氣經(jīng)過多重凈化，溫度環(huán)境適合工人工作，無塵車間內如果沒有輻射物，沒有油漆、白電油等釋放有害氣體的物品，而且送風排風有效，設備管理得當，那么無塵車間對身體一般沒有危害。