小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

對于過濾器，氣流穿過濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個范圍內(nèi)，過濾器的阻力與過濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。例如，一只484×484×220mm的過濾器，在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實際風(fēng)量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過濾器，氣流穿過濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系，而是一條上揚的弧線，風(fēng)量增加30%，阻力可能會增加50%，若過濾器阻力對你來說是個非常重要的參數(shù)，你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。

無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。