壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。
1、靈敏度非常高,有時傳感器的輸出不需放大可直接用于測量;
2、分辨率高,例如測量壓力時可測出10~20Pa的微壓;
3、測量元件的有效面積可做得很小,故頻率響應(yīng)高;
4、可測量低頻加速度和直線加速度。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。
傳感器是自動檢測系統(tǒng)主要的自動化裝置,其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來感受被測量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號的器件或裝置,還可以將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?,如電信號或氣信號?/p>

