當(dāng)力作用于硅晶體時(shí)，晶體的晶格產(chǎn)生變形，使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射，引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。

1、靈敏度非常高，有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測量；

2、分辨率高，例如測量壓力時(shí)可測出10～20Pa的微壓；

3、測量元件的有效面積可做得很小，故頻率響應(yīng)高；

4、可測量低頻加速度和直線加速度。

傳感器是自動(dòng)檢測系統(tǒng)主要的自動(dòng)化裝置，其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來感受被測量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號的器件或裝置，還可以將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?，如電信號或氣信號?/p>

硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。?

此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。?