這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。
當(dāng)受到壓力作用時(shí),一對(duì)橋臂的電阻變大,而另一對(duì)橋臂電阻變小,電橋失去平衡,輸出一個(gè)與壓力成正比的電壓。由于硅壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變的靈敏系數(shù)大50~100倍,故硅壓阻式壓力傳感器的滿量程輸出可達(dá)幾十毫伏至二百多毫伏,有時(shí)不需要放大就可直接測(cè)量。
壓組式壓力傳感器由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。休積小輸出信號(hào)大、靈敏度高動(dòng)態(tài)特性好精度高、頻響高、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),可適于高頻動(dòng)態(tài)測(cè)試,在航空治金氣象及醫(yī)療等方面獲得大量應(yīng)用。壓阻傳感器供應(yīng)就找上海百思得電子有限公司。
交叉靈敏度既與傳感器應(yīng)變片自身的壓阻系數(shù)、彈性模量、溫度系數(shù)有關(guān),又與電橋的供電電壓有關(guān),因此應(yīng)變和溫度同時(shí)作用于傳感器時(shí),傳感器的輸出不是應(yīng)變和溫度單獨(dú)作用時(shí)產(chǎn)生的輸出量的簡(jiǎn)單迭加,還存在著熱力學(xué)和力學(xué)量的相互作用,這個(gè)作用反映為交叉靈敏度,其大小反映了這種相互作用的程度。

