這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應制成的傳感器。當它受到壓力作用時,應變元件的電阻發(fā)生變化,從而使輸出電壓發(fā)生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個等值的電阻的應變元件,構成惠斯通電橋。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
1、直接用作各種壓力的測定:氣壓、水壓、液壓(包括水壓),生活中人們各種血壓測定等;
2、汽車、某些摩托車以及幾乎所有內燃機里都有壓力傳感器的使用;
3、液位計:各種液位測定的現場表計大多也是壓力傳感器;
4、大多數電子稱量稱、汽車衡的稱重信號來源也是壓力傳感器。
5、航空、航天中加速度測量也使用壓力傳感器。

