壓組式壓力傳感器由于結(jié)構(gòu)簡單。休積小輸出信號大、靈敏度高動(dòng)態(tài)特性好精度高、頻響高、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),可適于高頻動(dòng)態(tài)測試,在航空治金氣象及醫(yī)療等方面獲得大量應(yīng)用。壓阻傳感器供應(yīng)就找上海百思得電子有限公司。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。
壓阻式傳感器是在圓形硅膜片上擴(kuò)散出四個(gè)電阻,這四個(gè)電阻接成惠斯登電橋。當(dāng)有應(yīng)力作用時(shí),兩個(gè)電阻的阻值增加,增另外由于溫度影響,使每個(gè)電阻都有變化量。且用線性方程近似求解可充分利用較為成熟的線性方程組的數(shù)值方法理淪,使問題大大簡化,因此在實(shí)際應(yīng)用中仍具有重要意義,而參量變化較大時(shí),忽略交叉靈敏度對于求解精度影響較大。
硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對于膜片中心對稱。?
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。?

