壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應制成的傳感器。當它受到壓力作用時,應變元件的電阻發(fā)生變化,從而使輸出電壓發(fā)生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個等值的電阻的應變元件,構成惠斯通電橋。
傳感器的端部是高彈性鋼質薄膜,頭部充滿低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測壓力通過鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補償電阻。
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的。
擴散型壓阻傳感器是在半導體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴散電阻。將P型雜質擴散到N型硅單晶基底上,形成一層極薄的P型導電層,再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴散型半導體應變片。
傳感器是自動檢測系統(tǒng)主要的自動化裝置,其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來感受被測量并且以一定規(guī)律轉換成可輸出信號的器件或裝置,還可以將被測參數(shù)轉換成一定且方便傳輸?shù)男盘?,如電信號或氣信號?/p>

