這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
當(dāng)受到壓力作用時,一對橋臂的電阻變大,而另一對橋臂電阻變小,電橋失去平衡,輸出一個與壓力成正比的電壓。由于硅壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變的靈敏系數(shù)大50~100倍,故硅壓阻式壓力傳感器的滿量程輸出可達幾十毫伏至二百多毫伏,有時不需要放大就可直接測量。
壓組式壓力傳感器由于結(jié)構(gòu)簡單。休積小輸出信號大、靈敏度高動態(tài)特性好精度高、頻響高、質(zhì)量輕等優(yōu)點,可適于高頻動態(tài)測試,在航空治金氣象及醫(yī)療等方面獲得大量應(yīng)用。壓阻傳感器供應(yīng)就找上海百思得電子有限公司。
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的。
擴散型壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴散電阻。將P型雜質(zhì)擴散到N型硅單晶基底上,形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。

