壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。
壓阻式傳感器還有易于微型化、測量范圍寬、頻率響應(yīng)好(可測幾千赫茲的脈動(dòng)壓力)和精度高等特點(diǎn)。但在使用過程中,要注意硅壓阻式壓力傳感器對溫度很敏感,在具體的應(yīng)用電路中要采用溫度補(bǔ)償。目前大多數(shù)硅壓阻式傳感器已將溫度補(bǔ)充電路做在傳感器中,從而使得這類傳感器的溫度系數(shù)小于土0.3%的量程。
傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜,頭部充滿低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測壓力通過鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補(bǔ)償電阻。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。

