傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜,頭部充滿低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測(cè)壓力通過鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補(bǔ)償電阻。
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的。
擴(kuò)散型壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻。將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到N型硅單晶基底上,形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。
傳感器是自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)主要的自動(dòng)化裝置,其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來感受被測(cè)量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號(hào)的器件或裝置,還可以將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?hào),如電信號(hào)或氣信號(hào)。
硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。?
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。?

