壓阻式傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何弧⒓铀俣?、重量、應變、流量、真空度）的測量和控制。

當力作用于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形，使載流子從一個能谷向另一個能谷散射，引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關(guān)。

1、靈敏度非常高，有時傳感器的輸出不需放大可直接用于測量；

2、分辨率高，例如測量壓力時可測出10～20Pa的微壓；

3、測量元件的有效面積可做得很小，故頻率響應高；

4、可測量低頻加速度和直線加速度。

傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜，頭部充滿低黏度硅油，起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中，被測壓力通過鋼膜片和硅油傳遞給硅杯，硅杯的集成電阻通過金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補償電阻。