壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外,在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。
當(dāng)受到壓力作用時(shí),一對(duì)橋臂的電阻變大,而另一對(duì)橋臂電阻變小,電橋失去平衡,輸出一個(gè)與壓力成正比的電壓。由于硅壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變的靈敏系數(shù)大50~100倍,故硅壓阻式壓力傳感器的滿量程輸出可達(dá)幾十毫伏至二百多毫伏,有時(shí)不需要放大就可直接測(cè)量。
壓阻式傳感器還有易于微型化、測(cè)量范圍寬、頻率響應(yīng)好(可測(cè)幾千赫茲的脈動(dòng)壓力)和精度高等特點(diǎn)。但在使用過(guò)程中,要注意硅壓阻式壓力傳感器對(duì)溫度很敏感,在具體的應(yīng)用電路中要采用溫度補(bǔ)償。目前大多數(shù)硅壓阻式傳感器已將溫度補(bǔ)充電路做在傳感器中,從而使得這類傳感器的溫度系數(shù)小于土0.3%的量程。
傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜,頭部充滿低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測(cè)壓力通過(guò)鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過(guò)金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補(bǔ)償電阻。

