壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱(chēng)膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來(lái)越受到人們的重視,尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用為普遍。
傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜,頭部充滿(mǎn)低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測(cè)壓力通過(guò)鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過(guò)金屬引線(xiàn)與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補(bǔ)償電阻。
1、直接用作各種壓力的測(cè)定:氣壓、水壓、液壓(包括水壓),生活中人們各種血壓測(cè)定等;
2、汽車(chē)、某些摩托車(chē)以及幾乎所有內(nèi)燃機(jī)里都有壓力傳感器的使用;
3、液位計(jì):各種液位測(cè)定的現(xiàn)場(chǎng)表計(jì)大多也是壓力傳感器;
4、大多數(shù)電子稱(chēng)量稱(chēng)、汽車(chē)衡的稱(chēng)重信號(hào)來(lái)源也是壓力傳感器。
5、航空、航天中加速度測(cè)量也使用壓力傳感器。
交叉靈敏度既與傳感器應(yīng)變片自身的壓阻系數(shù)、彈性模量、溫度系數(shù)有關(guān),又與電橋的供電電壓有關(guān),因此應(yīng)變和溫度同時(shí)作用于傳感器時(shí),傳感器的輸出不是應(yīng)變和溫度單獨(dú)作用時(shí)產(chǎn)生的輸出量的簡(jiǎn)單迭加,還存在著熱力學(xué)和力學(xué)量的相互作用,這個(gè)作用反映為交叉靈敏度,其大小反映了這種相互作用的程度。

