壓阻式傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度)的測(cè)量和控制。
壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外,在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。
當(dāng)受到壓力作用時(shí),一對(duì)橋臂的電阻變大,而另一對(duì)橋臂電阻變小,電橋失去平衡,輸出一個(gè)與壓力成正比的電壓。由于硅壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變的靈敏系數(shù)大50~100倍,故硅壓阻式壓力傳感器的滿量程輸出可達(dá)幾十毫伏至二百多毫伏,有時(shí)不需要放大就可直接測(cè)量。
1、直接用作各種壓力的測(cè)定:氣壓、水壓、液壓(包括水壓),生活中人們各種血壓測(cè)定等;
2、汽車、某些摩托車以及幾乎所有內(nèi)燃機(jī)里都有壓力傳感器的使用;
3、液位計(jì):各種液位測(cè)定的現(xiàn)場(chǎng)表計(jì)大多也是壓力傳感器;
4、大多數(shù)電子稱量稱、汽車衡的稱重信號(hào)來(lái)源也是壓力傳感器。
5、航空、航天中加速度測(cè)量也使用壓力傳感器。

