當(dāng)力作用于硅晶體時,晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化,擾動了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。
壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應(yīng)制成的傳感器。當(dāng)它受到壓力作用時,應(yīng)變元件的電阻發(fā)生變化,從而使輸出電壓發(fā)生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個等值的電阻的應(yīng)變元件,構(gòu)成惠斯通電橋。
體型壓阻傳感器:利用半導(dǎo)體材料電阻制成粘貼式的應(yīng)變片(半導(dǎo)體應(yīng)變片),用此應(yīng)變片制成的傳感器稱為半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器,其工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。這是一種將半導(dǎo)體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條,經(jīng)腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應(yīng)變片。
1、直接用作各種壓力的測定:氣壓、水壓、液壓(包括水壓),生活中人們各種血壓測定等;
2、汽車、某些摩托車以及幾乎所有內(nèi)燃機(jī)里都有壓力傳感器的使用;
3、液位計:各種液位測定的現(xiàn)場表計大多也是壓力傳感器;
4、大多數(shù)電子稱量稱、汽車衡的稱重信號來源也是壓力傳感器。
5、航空、航天中加速度測量也使用壓力傳感器。

