當力作用于硅晶體時,晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化,擾動了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。
傳感器的端部是高彈性鋼質(zhì)薄膜,頭部充滿低黏度硅油,起傳遞壓力和隔熱作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被測壓力通過鋼膜片和硅油傳遞給硅杯,硅杯的集成電阻通過金屬引線與絕緣端子相連,在印制電路板上有各種補償電阻。
壓組式壓力傳感器由于結(jié)構(gòu)簡單。休積小輸出信號大、靈敏度高動態(tài)特性好精度高、頻響高、質(zhì)量輕等優(yōu)點,可適于高頻動態(tài)測試,在航空治金氣象及醫(yī)療等方面獲得大量應(yīng)用。壓阻傳感器供應(yīng)就找上海百思得電子有限公司。
硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對于膜片中心對稱。?
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。?

