壓阻式傳感器是根據(jù)半導體材料的壓阻效應在半導體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應用為普遍。
例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。在飛機噴氣發(fā)動機中心壓力的測量中,使用專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。
靈敏度高: 硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~100倍,故相應的傳感器靈敏度很高,一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器,因而分辨率,國外稱之無限,即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制,一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區(qū),且線性優(yōu)良。
壓阻壓力傳感器的原理是敏感芯體受壓后產(chǎn)生電阻變化,再通過放大電路將電阻的變化轉換為標準信號輸出。 壓阻式芯體通用的有三類: 1、應變原理: 1)結構: 將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應變材料(通常為不銹鋼)結合在一起。 2)特點: 過載能力,抗沖擊壓力強靈敏度較低 ,適合于測量500kpa以上的高量程范圍,可達500mpa強度高,耐振動,不易損壞溫度漂移小高量程(1mpa以上)線性很好,精度高硬性膜片結構,適合測量與應變材料兼容的各類介質。

