性能穩(wěn)定、可靠性高：由于工作彈性形變低至微應變數量級，彈性薄膜位移在亞微米數量級，因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環(huán)次以上。溫度系數?。?由于微電子技術的進步，四個應變電阻的一致性可做的很高，加之激光修調技術、計算機自動補償技術的進步，硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數已可達10-5/℃數量級,即在壓力傳感器領域已超過溫度系數小的應變式傳感器的水平。

壓阻壓力傳感器的原理是敏感芯體受壓后產生電阻變化,再通過放大電路將電阻的變化轉換為標準信號輸出。 壓阻式芯體通用的有三類： 1、應變原理: 1）結構: 將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應變材料(通常為不銹鋼)結合在一起。 2）特點: 過載能力,抗沖擊壓力強靈敏度較低 ,適合于測量500kpa以上的高量程范圍,可達500mpa強度高,耐振動,不易損壞溫度漂移小高量程(1mpa以上)線性很好,精度高硬性膜片結構,適合測量與應變材料兼容的各類介質。

擴散硅硅原理： 1）結構:在硅片上注入粒子形成惠司通電橋形式的壓敏電阻。 2）特點:靈敏度很高,精度高,適合于測量1kpa～40mpa的范圍,過壓能力較強抗沖擊壓力較好溫度漂移較大分為帶隔離膜片和非隔離膜片2類,非隔離膜片只能測干凈 的氣體,隔離膜片為軟性膜片,不適合測量粘稠的介質。

交叉靈敏度分析

交叉靈敏度既與傳感器應變片自身的壓阻系數、彈性模量、溫度系數有關，又與電橋的供電電壓有關，因此應變和溫度同時作用于傳感器時，傳感器的輸出不是應變和溫度單獨作用時產生的輸出量的簡單迭加，還存在著熱力學和力學量的相互作用，這個作用反映為交叉靈敏度，其大小反映了這種相互作用的程度。