例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。在飛機噴氣發(fā)動機中心壓力的測量中，使用專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。

在尺寸縮小的風洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風洞進口處和發(fā)動機進氣管道模型中。單個傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。

壓阻壓力傳感器的原理是敏感芯體受壓后產(chǎn)生電阻變化,再通過放大電路將電阻的變化轉換為標準信號輸出。 壓阻式芯體通用的有三類： 1、應變原理: 1）結構: 將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應變材料(通常為不銹鋼)結合在一起。 2）特點: 過載能力,抗沖擊壓力強靈敏度較低 ,適合于測量500kpa以上的高量程范圍,可達500mpa強度高,耐振動,不易損壞溫度漂移小高量程(1mpa以上)線性很好,精度高硬性膜片結構,適合測量與應變材料兼容的各類介質(zhì)。

交叉靈敏度分析

交叉靈敏度既與傳感器應變片自身的壓阻系數(shù)、彈性模量、溫度系數(shù)有關，又與電橋的供電電壓有關，因此應變和溫度同時作用于傳感器時，傳感器的輸出不是應變和溫度單獨作用時產(chǎn)生的輸出量的簡單迭加，還存在著熱力學和力學量的相互作用，這個作用反映為交叉靈敏度，其大小反映了這種相互作用的程度。