這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線(概述圖)。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
適應介質廣: 由于硅的優(yōu)良化學防腐性能,與硅油的良好可兼容性,使得隔離式結構易于實現(xiàn),即使非隔離型的壓阻壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。 防爆: 由于其低電壓、低電流的低功耗特點,它是本質防爆型產品,可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領域,具有性價比。
壓阻壓力傳感器的原理是敏感芯體受壓后產生電阻變化,再通過放大電路將電阻的變化轉換為標準信號輸出。 壓阻式芯體通用的有三類: 1、應變原理: 1)結構: 將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應變材料(通常為不銹鋼)結合在一起。 2)特點: 過載能力,抗沖擊壓力強靈敏度較低 ,適合于測量500kpa以上的高量程范圍,可達500mpa強度高,耐振動,不易損壞溫度漂移小高量程(1mpa以上)線性很好,精度高硬性膜片結構,適合測量與應變材料兼容的各類介質。
交叉靈敏度分析
交叉靈敏度既與傳感器應變片自身的壓阻系數(shù)、彈性模量、溫度系數(shù)有關,又與電橋的供電電壓有關,因此應變和溫度同時作用于傳感器時,傳感器的輸出不是應變和溫度單獨作用時產生的輸出量的簡單迭加,還存在著熱力學和力學量的相互作用,這個作用反映為交叉靈敏度,其大小反映了這種相互作用的程度。

