一． 設(shè)備簡介
半導(dǎo)體超純水設(shè)備是應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)零件清洗的超純水設(shè)備，需要符合特定的用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、中國電子工業(yè)電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。榮大環(huán)保在滿足用戶用水標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，在設(shè)備系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
二． 設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)及依據(jù)
1.根據(jù)用戶提供的詳細(xì)水質(zhì)報告“量身定制”。
2.水處理設(shè)備技術(shù)條件《JB/T 2932-1999》
3.反滲透水處理設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)《CJ/T119-2000》
4.低壓開關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備成套裝置《IEC439-1》
5.實驗室超純水技術(shù)指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《GB6682-2008》
6.電子級超純水規(guī)格《GB/T11446.1-1997》