拋光液作為金屬加工液檢測種類的重要一員,對金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達 12 級, 可取代多種進口拋光劑和拋光粉。
拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應的主體。 拋光表面反應物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
CMP拋光液利用“軟磨硬”的原理很好的實現(xiàn)了藍寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。
金屬試樣表面各組成相的電化學電位不同,形成了許多微電勢,在化學溶液中會產(chǎn)生不均勻溶解。在溶解過程中試樣面表層會產(chǎn)生一層氧化膜,試樣表面凸出部分由于粘膜薄,金屬的溶解擴展速度較慢,拋光后的表面光滑,但形成有小的起伏波形,不能達到十分理想的要求。在低和中等放大倍數(shù)下利用顯微鏡觀察時,這種小的起伏一般在物鏡垂直鑒別能力之內(nèi),仍能觀察到十分清晰的組織。
