上海百思得電子有限公司，自行研發(fā)、批量生產(chǎn)的――智能質(zhì)量流量控制器，精密測(cè)量，完美控制，控制精度±1%FS（恒流）。

MFC-1系列質(zhì)量流量控制器是以氣體的質(zhì)量流量為計(jì)量基準(zhǔn)的流量計(jì)。其測(cè)量值不隨氣體的壓力,溫度的變化而波動(dòng)。較之一般的體積流量計(jì)具有無(wú)可比擬的優(yōu)越性，同時(shí)具有測(cè)量精度高，計(jì)量的起始流量小，流通阻力小，耐腐蝕性能好等特點(diǎn)。

ZF-MFC-1系列質(zhì)量流量控制器不僅具有精度高、重復(fù)性好、并有很好的流量穩(wěn)定作用 （0.15MPa ~0.6MPa輸出值保持不變）可程序設(shè)定流量、手/自動(dòng)軟切換、數(shù)字調(diào)零、不同氣體系數(shù)修正、直接數(shù)字設(shè)定流量、穩(wěn)定可靠，操作方便，并可直接與上位機(jī)連接，由上位機(jī)實(shí)現(xiàn)設(shè)定、控制、記錄等功能，同時(shí)可輸出4~20mA信號(hào)，可供遠(yuǎn)程儀表連接。

技術(shù)參數(shù)：

１、流量范圍：0~100, 200, 300，500 SCCM（ml/min）

特殊規(guī)格另定

２、準(zhǔn) 確 度：±2%FS

３、控制精度：±1%FS（恒流）

４、線 性：±2%FS

５、工作壓差范圍:0.1~0.5Mpa

６、耐 壓：1Mpa

７、編程功能：多段程序設(shè)定流量（可配置）

８、工作環(huán)境溫度：-10~+~+50℃

９、電源電壓：DC15V/0.5A

１０、控制方式：智能人工數(shù)顯裝置

１１、輸出信號(hào)：4~20mA

１２、計(jì)算機(jī)接口：RS485

１３、調(diào)零方式：數(shù)字調(diào)零

１４、設(shè)定流量方式：鍵入

１５、手/自動(dòng)切換：無(wú)擾動(dòng)

１６、外形尺寸：168×30×132mm

１７、重 量：0.92Kg

適用范圍：

IC工業(yè)特種材料學(xué)科化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、照明、醫(yī)藥、環(huán)保、真空、擴(kuò)散、氧化、外延CVD、等離子刻蝕濺射 、離子注入鍍膜設(shè)備、光纖、熔煉微反應(yīng)裝置、混汽配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜、熱分析