主要應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體封裝載板:實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電連接,提升散熱效率。
PCB 高頻載板:增強(qiáng)信號(hào)傳輸穩(wěn)定性,降低損耗。
精密電子載板:提高表面耐磨性和抗腐蝕能力,延長(zhǎng)使用壽命。
面板級(jí)加工:扇出型封裝常采用面板級(jí)封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對(duì)鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對(duì)于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機(jī)添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實(shí)現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問題,同時(shí)保證鍍層的均勻性和表面質(zhì)量。
通訊載板電鍍加工關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方優(yōu)化:為了實(shí)現(xiàn)高精度的電鍍效果,需要針對(duì)不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關(guān)鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實(shí)現(xiàn)超細(xì)線路的均勻電鍍,避免出現(xiàn)鍍層橋連、空洞等缺陷。
設(shè)備與工藝參數(shù)調(diào)控:先進(jìn)的電鍍?cè)O(shè)備能夠控制電場(chǎng)、電流密度、溫度、時(shí)間等參數(shù),確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設(shè)置脈沖參數(shù),可以改善鍍層的結(jié)晶結(jié)構(gòu),提高鍍層的性能。
