關(guān)鍵加工環(huán)節(jié)
前處理:包括除油、微蝕、活化,確保載板表面潔凈無雜質(zhì)。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子均勻附著在載板表面。
后處理:涵蓋清洗、烘干、檢測,保障鍍層質(zhì)量達標(biāo)。
關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問題,同時保證鍍層的均勻性和表面質(zhì)量。
通訊載板電鍍加工工藝特點
高精度要求:通訊載板通常需要處理超細線路,線寬 / 焊盤尺寸常小于 20μm,鍍層厚度偏差需控制在 ±10% 以內(nèi),部分場景甚至要求≤±8%,以保證信號的穩(wěn)定傳輸。
高可靠性:通訊設(shè)備需要在各種環(huán)境下穩(wěn)定工作,因此通訊載板電鍍層需具備良好的附著力,如銅鍍層附著力≥0.8N/mm,同時要通過長時間的濕熱試驗、鹽霧試驗等可靠性測試,以確保在惡劣環(huán)境下不出現(xiàn)鍍層脫落、腐蝕等問題。
高頻性能優(yōu)化:為滿足通訊領(lǐng)域高頻信號傳輸?shù)男枨螅婂児に囆柰ㄟ^脈沖電鍍等技術(shù)控制銅晶粒取向,降低信號傳輸損耗,如在 5G 基站射頻板中,可降低 10GHz 毫米波傳輸損耗。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對載板進行激光鉆微導(dǎo)通孔、去鉆污等操作,然后用化學(xué)鍍銅或碳直接金屬化工藝等進行初級金屬化,形成一層薄的導(dǎo)電晶種層,為后續(xù)電鍍做準(zhǔn)備。
圖形電鍍:在經(jīng)過前處理的載板上,通過光刻技術(shù)形成圖形,然后進行電鍍,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
