制造ITO靶材是一項技術密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個環(huán)節(jié)。高質(zhì)量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結(jié)構穩(wěn)定,電導率高,確保了設備的運行。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)靶材是一種廣泛用于透明導電薄膜材料制備的復合氧化物材料,其主要成分為氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)。通常,ITO靶材中氧化銦與氧化錫的質(zhì)量比例為90:10,這一比例在實際應用中表現(xiàn)出較為理想的光電特性,使其在透明導電薄膜中廣泛應用。
氧化銦是一種寬禁帶半導體,具有良好的光學透明性,而氧化錫的引入則增強了材料的導電性。這種成分結(jié)構使得ITO材料在保證高透光率的同時也具有低電阻率,兼具光學和電學性能。ITO靶材的這一獨特特性使其成為透明導電膜的主流材料,尤其適用于要求高透明度的光電設備和顯示技術。

