制備完成后,ITO靶材在實際應用中還會遇到一些問題:
濺射不均勻:如果靶材內部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過程中可能出現局部過熱,導致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時,靶材承受的熱應力可能超出其極限,造成破裂,進而影響生產線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲量有限,價格波動較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)靶材是一種廣泛用于透明導電薄膜材料制備的復合氧化物材料,其主要成分為氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)。通常,ITO靶材中氧化銦與氧化錫的質量比例為90:10,這一比例在實際應用中表現出較為理想的光電特性,使其在透明導電薄膜中廣泛應用。
透明導電薄膜在現代光電行業(yè)中具有至關重要的地位,是觸摸屏、顯示器和太陽能電池等設備中的核心組件。ITO靶材憑借其出色的透明導電特性成為制備透明導電薄膜的材料。
技術破局:從粗放走向精純
現代銦回收工藝已形成精細鏈條:
預處理與富集:機械破碎液晶屏 → 高溫焚燒去除有機物 → 酸溶浸出(常用硫酸/鹽酸),將銦等金屬轉入溶液。
深度分離提純(核心技術):
溶劑萃取法:利用特定有機溶劑(如P204)選擇性“捕獲”溶液中的銦離子,實現與鐵、鋅、錫等雜質的深度分離,富集倍數可達千倍。
離子交換法:功能樹脂吸附銦離子,適用于低濃度溶液提純。
電解沉積:對富銦溶液通電,在陰極析出粗銦。
高純精煉:對粗銦進行真空蒸餾、區(qū)域熔煉等,去除微量雜質(如鎘、鉛),產出純度高達99.99%(4N)以上的精銦,滿足高端ITO靶材要求。
綠色升級:循環(huán)經濟的必由之路
相比開采原生礦(主要來自鋅冶煉副產品),從電子垃圾中回收銦具有顯著優(yōu)勢:
資源保障:1噸廢棄液晶面板可提取200-300克銦,品位遠超原礦。
節(jié)能減排:回收能耗僅為原生銦生產的1/3,大幅降低碳排放。
環(huán)境友好:減少電子垃圾填埋污染,避免采礦生態(tài)破壞。
經濟可行:銦價高企(曾超1000美元/公斤)賦予回收強勁動力。

