熱壓法：把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型，能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度，同時(shí)有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法：利用液壓介質(zhì)在室溫下對(duì)銦粉末施加均勻壓力使其成型，可制造出高密度和均勻性的靶材，但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來(lái)提高其機(jī)械性能。
安裝前預(yù)處理
表面清潔：
用無(wú)水乙醇或丙酮擦拭靶材表面，去除油污、指紋及氧化層（可用無(wú)塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭，避免來(lái)回摩擦）。
若靶材表面有輕微氧化，可用細(xì)砂紙（800~1200 目）輕輕打磨，再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查：
確認(rèn)靶材無(wú)裂紋、孔洞或脫落（銦質(zhì)地軟，運(yùn)輸或安裝時(shí)易磕碰損傷）。
檢查靶材與靶架的適配性（如尺寸公差、導(dǎo)電性接觸點(diǎn)），確保安裝牢固。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔：每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層（銦延展性強(qiáng)，易粘附在腔體表面，長(zhǎng)期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度）。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭，或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除（避免損傷腔體涂層）。
真空泵保養(yǎng)：定期更換真空泵油（因銦蒸氣可能污染泵油，建議每 200 小時(shí)檢查一次），防止油液粘度升高影響抽氣效率。
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